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    氣體質量流量計/控制器

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    Line Tech氣體質量流量控制器

     

    產品特點:

    • 快速的響應時間
    • 無泄漏
    • 較好的抗腐蝕性
    • 卓越的線性
    • 較高的長期穩定性
    • 寬泛的壓力范圍
    • 模塊化設計
    • 較高性價比

     

    技術指標:

    流量范圍
    10SCCM-125SLPM
    響應時間
    ≤2sec
    準確度
    ≤1%FS
    重復精度
    ±0.25%
    輸入/輸出信號
    0-5VDC,4-20mA
    供電電源
    +15~28VDC,350mA
    耐壓
    <9MPa
    工作環境溫度
    0-50℃
    泄漏率
    1*10-9atm.cc/sec

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